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【摘 要】
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上世纪四十年代末，微电子技术崭露头角，便迅速引发了一次新的技术革命，到如今，它已成为当代计算机技术、通讯技术、自动控制技术等新兴技术的基础。随着微电子技术的发展，微电子器
【机 构】
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南京大学
【出 处】
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南京大学
【发表日期】
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2004年期
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