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本文主要论述0.1微米电子束曝光机实用化研究的内容.简介系统的组成及达到的主要性能指标.
0.1微米电子束曝光实验装置的实用化研究
【摘 要】
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本文主要论述0.1微米电子束曝光机实用化研究的内容.简介系统的组成及达到的主要性能指标.
【机 构】
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中国科学院电工研究所(北京)
【出 处】
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第十一届全国电子束、离子束、光子束学术年会
【发表日期】
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2001年期
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