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首先介绍微/纳精密定位技术国内外发展现状。其次微/纳精密定位技术的应用领域，该技术的组成与特点，技术的发展趋势，关键技术与前沿。最后介绍上海交通大学精密驱动与控制实验室开展微/纳精密定位技术方面的研究情况。
微/纳精密定位技术与应用
【摘 要】
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首先介绍微/纳精密定位技术国内外发展现状。其次微/纳精密定位技术的应用领域，该技术的组成与特点，技术的发展趋势，关键技术与前沿。最后介绍上海交通大学精密驱动与控制实
【机 构】
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上海交通大学
【出 处】
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2014全国第十届精密工程学术研讨会(PES10`14)
【发表日期】
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2014年期
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