【摘 要】
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针对硅微光学加速度计器件的设计,给出了一种微米光栅加速度计的结构及光学检测原理.通过设计检测方法,抑制了电路噪声和共模误差,提高了检测光信号的能力.实现了微米光栅加
【机 构】
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北京航空航天大学惯性技术重点实验室,北京 100191
【出 处】
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2013‘全国半导体器件技术、产业发展研讨会暨第六届中国微纳电子技术交流与学术研讨会
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针对硅微光学加速度计器件的设计,给出了一种微米光栅加速度计的结构及光学检测原理.通过设计检测方法,抑制了电路噪声和共模误差,提高了检测光信号的能力.实现了微米光栅加速度计光信号检测灵敏度的提高.制定了微米光栅加速度计加工方案,成功制作出加速度计敏感头,同时制作了微米光栅加速度计检测电路,整体检测电路具有电路简单、抗干扰和易于集成的特点.实验结果表明,加速度计的标度因素提高一倍,探测效果得到明显改善.
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