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光学灵敏度分析对微米光栅加速度计整体精度的提高至关重要.本文以标量衍射理论为基础,针对影响微米光栅加速度计光学灵敏度的参数进行了分析和优化.首先,分析了光栅与反射面间距对光学灵敏度影响,得到间距为八分之一波长的奇数倍时灵敏度最高;其次，通过仿真证明光栅结构的占空比为0.5时，光栅各级次的衍射效率最高。最后，研究了入射到光栅上的光斑大小和波长对光学灵敏度的影响，结果表明光入射光斑越大，各衍射级次光斑模场直径越小，衍射效率越高；波长越短，工作区域内灵敏度越大。研究成果为下一步微米光栅加速度计的设计与研究提供了理论依据。