振梁式真空度传感器

来源 :第八届中国场致发射与真空微电子学学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户：puccacat

【摘要】

：

对真空度的测量可采用各种真空计,但其输出量大多为非电量或模拟式电量.本文设计了一种电热激励/压敏全桥检测Si/SiO双层微悬臂梁谐振式真空度传感器.该传感器利用微悬臂梁的

【作者】

：

韩建强朱长纯刘君华魏培永

【机构】

：

西安交通大学电信学院(西安)

【出处】

：

第八届中国场致发射与真空微电子学学术会议

【发表日期】

：

2001年7期

【关键词】

：

微悬臂梁真空度传感器真空度测量微电子工艺

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对真空度的测量可采用各种真空计,但其输出量大多为非电量或模拟式电量.本文设计了一种电热激励/压敏全桥检测Si/SiO<,2>双层微悬臂梁谐振式真空度传感器.该传感器利用微悬臂梁的谐振频率随真空度的变化而变化实现测量的,其敏感元件是用微电子工艺和微机械加工工艺制作的微悬臂梁,是一种新型的真空度传感器.

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