扫描电镜透过表面绝缘层透视检测半导体和集成电路及真空微电子器件的新技术

来源 :第八届中国场致发射与真空微电子学学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户：a8586023

【摘要】

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本文在这里首次公布在扫描电子显微镜SEM中应用我们研制成功的能透过表面绝缘层透视检测半导体和集成电路IC及真空微电子器件VMD被掩盖在绝缘层表面下的微结构及缺陷的新检测

【作者】

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王建李亚文肖玲梁竹关周开邻李萍徐晓华 Pay Э.И. 胡问国

【机构】

：

云南大学物理系昆明物理研究所俄罗斯

【出处】

：

第八届中国场致发射与真空微电子学学术会议

【发表日期】

：

2001年7期

【关键词】

：

透视检测半导体集成电路真空微电子器件扫描电镜

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本文在这里首次公布在扫描电子显微镜SEM中应用我们研制成功的能透过表面绝缘层透视检测半导体和集成电路IC及真空微电子器件VMD被掩盖在绝缘层表面下的微结构及缺陷的新检测法(简称透表法)和新检测仪(简称透表仪)观测IC样品所得到的照片及测量结果.它突破了SEM的传统应用功能.本文还提出了在SEM中提高图像信噪比的有效方法.

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