溶液法制备高灵敏、低功耗半导体电阻式气体传感器

来源 :TFC`15全国薄膜技术学术研讨会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xhc042
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  以氧化锡(SnO2)为代表的氧化物半导体电阻式气体传感器具有灵敏度高、响应快、成本低等优势,是一类实用化程度高、应用广泛的气体传感器,但其工作温度高(200-600℃)和选择性差等缺点阻碍了进一步的发展和应用。可溶液处理的胶体纳米材料具有高比表面积、物化特性灵活可调,以及优良的室温成膜等特性,是适于研制高灵敏、低功耗半导体气体传感器的理想材料。
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