MPCVD相关论文
目前受控热核聚变能被认为是能够有效解决人类未来能源需求的清洁新能源,燃烧等离子体、托卡马克聚变堆工程技术、聚变堆各类材料......
本文研究了在反应气体中引入不同浓度的CO2对微波等离子体化学气相沉积（MPCVD）法同质外延生长单晶金刚石内应力的影响，并对其作用机理......
被称作“终极半导体材料”的金刚石是目前最具发展前途的半导体材料。然而,由于金刚石尺寸及价格的限制使其很难快速推动金刚石半......
采用微波等离子体化学气相沉积法(MPCVD),以硬质合金(YG6)为基底,通过固定碳源浓度10％,腔体压强4 kPa,并控制腔内温度分别为700℃、......
用微波等离子体化学气相沉积法（ MPCVD）在氧化铝陶瓷衬底上成功地制备出具有 [100] 织构的金刚石薄膜，并对该薄膜进行了 X射线衍射（ XR......
金刚石具有优异的光学、声学、热学、力学和电学等性质,且应用面十分广泛,是21世纪最具发展前景的材料之一。庞大的市场需求和前景......
为了满足生命科学、医学、微电子和光学等前言科学对高品质真空窗口的需求,制备高致密度高质量的纳米金刚石真空窗口变得越来越迫......
微波等离子体化学气相沉积法(microwave plasma chemical vapor deposition,MPCVD),因具有无电极放电污染、沉积速率快、稳定性好......
金刚石膜具有能够媲美单晶金刚石的优异物理化学性能,同时能够满足大尺寸的制备要求,是理想的红外窗口和芯片散热材料.本文采用微......
金刚石薄膜具有一系列优异性能,使其在多种领域得到广泛的应用,但是常规CVD金刚石薄膜晶粒度较大,呈柱状生长,表面较粗糙,同时高硬......
该文详细介绍了自行研制的2450MHz/5KW带有石英玻璃窗、水冷却不锈钢腔体微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)装置.论述了包括微波系......
本文系统地研究了在硬质合金上MPCVD沉积金刚石薄膜的实验过程中，甲烷浓度、沉积气压、气体流量、基体温度等不同实验工艺参数对金......
该论文利用金刚石的宽禁带、高电阻率、低原子序数等优异性能,研制具有高信噪比、结构简单、抗辐射的单元金刚石薄膜粒子探测器.采......
通过微波等离子体化学气象沉淀装置(MPCVD),分别选用CVD金刚石种晶、HTHP金刚石种晶进行同质外延生长,用以合成单晶金刚石,对比两......
Systematic research on the performance of self-designed microwave plasma reactor for CVD high qualit
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生......
C3N4 films have been synthesized on both Si and Pt substrates by microwave plasma chemical vapor deposition (MPCVD) meth......
利用MPCVD方法在玻璃基片上成功的制备了非常光滑、致密均匀的纳米金刚石膜。沉积工艺分为两步 :成核 ,CH4 /H2 =3% ;生长 ,O2 /CH......
通过偏压微波等离子体化学气相沉积法 (MPCVD)成功地在Si(10 0 )上生长出具有 [10 0 ]织构的金刚石薄膜 .阐述了实验过程 ,讨论了......
