螺杆真空泵工作过程中，转子在力载荷和热载荷的共同作用下发生形变。若转子与泵腔冷配合间隙过小，不足以补偿转子形变，会引起机器卡死现象；相反若转子与泵腔冷配合间隙过大，运转时的泄露量偏大，导致泵的抽气性能下降。本文对转子在力载荷和热载荷作用下的形变进行了分析研究，为螺杆真空泵如何合理确定冷配合间隙提供理论指导。本研究以180L/s 单头内凹等螺距转子作为研究对象，建立了转子的三维实体模型。考虑到对流换热系数随压强等参数的变化而变化，研究时将转子分为四段，计算出每段的当量温度和对流换热系数，施加在模型对应位置上，利用有限元方法进行模拟计算。首先对实心转子和轴心通水转子在热载荷作用下的温度场分布及形变情况进行了研究，结果表明轴心通水结构对降低转子温度效果明显，同时轴心通水转子轴向热形变量为实心转子轴向热形变量的六分之一，轴心通水转子径向热形变量为实心转子径向热形变量的十分之一，轴心通水结构很大程度上降低了转子的热膨胀量。其次对扭矩、离心力、气体压力等机械载荷单独和共同作用下的转子形变量进行了分析，结果表明在所有机械载荷当中由压力引起的形变量最大，由扭矩引起的形变量最小，仅为压力引起形变量的九分之一。