【摘 要】
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本文详细介绍了依据条纹反射术(PMD)测量镜面的原理和方法。通过实验验证了这种方法。在结果分析中给出了这种方法的弊端，首先远心光路结构本身含有系统误差，其次在相位求
【机 构】
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南京理工大学电子工程与光电技术学院,江苏南京210094
【出 处】
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第四届全国信息光学与光子器件学术会议
论文部分内容阅读
本文详细介绍了依据条纹反射术(PMD)测量镜面的原理和方法。通过实验验证了这种方法。在结果分析中给出了这种方法的弊端，首先远心光路结构本身含有系统误差，其次在相位求解过程中的积分非闭合性误差和误差本身随积分传递等问题。另外给出了绝对面形测量系统结构，这种结构能够很好地剔除PMD 测量方法的缺点。通过分析可知合理设置参数来得到方程组是测量的关键。
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