【摘 要】
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为了实现极紫外光刻投影物镜光学元件0.2～0.3nmRMS的面形检测精度要求,研究了超高精度光学元件检测方法.采用误差分解控制方法,设计了非球面补偿器检测系统.补偿器由提供
【机 构】
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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,吉林长春130033
【出 处】
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第四届全国信息光学与光子器件学术会议
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为了实现极紫外光刻投影物镜光学元件0.2～0.3nmRMS的面形检测精度要求,研究了超高精度光学元件检测方法.采用误差分解控制方法,设计了非球面补偿器检测系统.补偿器由提供透射球面波的前组及产生非球面分量的球面元件组成,可通过对补偿器前组的标定及后组元件的参数控制保证系统测试精度.分析了非球面补偿器检测系统的主要误差来源,提出了环境误差及补偿器前组波像差的控制参数,通过误差分类评估了系统检测精度.非球面补偿器的检测精度预计到达0.245nmrms,能够实现超高精度的极紫外光刻非球面元件检测.
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