电镀金属厚膜质量均匀性的仿真与优化

来源 :2013‘全国半导体器件技术、产业发展研讨会暨第六届中国微纳电子技术交流与学术研讨会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:TORO_123
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  在石英音叉陀螺微细加工工艺中,使用电镀工艺制作激光修调质量块,用于消除正交耦合误差。本文重点分析了电场强度和对流传质对电镀质量块均匀性的影响。采用ANSYS有限元分析软件对电镀过程中的电场强度分布进行了模拟分析,模拟和试验证明在靠近阳极附近增加亚阴极尺寸的绝缘匀流挡板可以改善晶片整体的电场分布,提高整体均匀性。分析了对流传质对质量块微观形貌的影响,对比了磁力搅拌和阴极水平抖动两种搅拌方式,试验结果表明阴极水平抖动是改善质量块均匀性的有效方法。
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