【摘 要】
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采用气态源分子束外延方法和化合物半导体工艺研制了晶格匹配和波长扩展的InGaAs探测器,其室温下的截止波长已由1.7μm拓展至2.7μm。对此探测器系列的特性进行了细致的测量
【机 构】
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中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室,上海 200050
【出 处】
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第十五届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议
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采用气态源分子束外延方法和化合物半导体工艺研制了晶格匹配和波长扩展的InGaAs探测器,其室温下的截止波长已由1.7μm拓展至2.7μm。对此探测器系列的特性进行了细致的测量表征,结果表明此类探测器十分适合在室温条件下工作,且在热电制冷温度下其性能可大为改观。瞬态特性测量结果表明此探测器系列可在高速下工作,实测响应速度已达数十ps量级,可以满足此波段激光雷达等方面的需要。
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