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现在国外商用ZYGO干涉仪可提供一些基于ISO10110-5的面形评价参数,而国内的自制干涉仪还 没有这项功能。IS010110-5中提出这些面形......
为了更好地分析大口径反射镜的面形，引入奇异值方法来分析系统的重力印透造成的大尺度起伏以及由磨削加工、测量噪声等因素造成的中......
对用波差与表面斜率误差评价光学元件面形误差的方法进行了比较和讨论.以具有不同面形精度的光学元件,在不同的数据处理方法下得到......
本文研究了1SO10110-5表面面形评价参数的算法,建立了与ISO10110-5相应的数字波面分解模型；运用自编的波面拟合程序,完成了泽尼克系......
