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钨电阻相关论文
CMOS兼容微热板式气体传感器的研制
微热板具有尺寸小、低功耗、响应速度快以及易集成等优点,被广泛应用于真空传感器、微量热计、微气体传感器等微型器件中,因此微热......
学位
微热板式气体传感器
CMOS兼容
Post-CMOS加工
钨电阻
正面体硅微加工
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