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近年来,宽禁带半导体材料β-Ga2O3越来越多地受到关注,在材料制备、掺杂、刻蚀等方面都有广泛研究。射频磁控溅射是常用的β-Ga2O3......
铁电材料由于其在介电、压电和光学等方面有着优异的性能而得到广泛的研究和应用。其中典型的代表也是应用范围最广的是锆钛酸铅(P......
在过去的几十年中，微电子技术的发展一直依循着摩尔定律稳步前进。金属-氧化物-半导体场效应晶体管(MOSFET)的性能也随着器件尺寸的......
采用直流磁控溅射法制备了Al掺杂ZnO薄膜,并在不同的氛围和温度下进行了退火处理.利用X射线衍射仪(XRD)和物理性能测量仪(PPMS)对......
采用直流磁控溅射方法在玻璃基片上制备了不同Fe掺杂量的TiO2薄膜，并对薄膜分别在空气和真空氛围下500℃进行30min退火处理。研究了......
采用直流磁控反应共溅法制备了非磁性元素A1和磁性元素Co掺杂的ZnO薄膜,样品原位真空退火后再空气退火处理.利用X射线衍射仪(XRD)......
