软光刻相关论文
软体机器人是指由软体材料制造而成的机器人,具有质量轻、灵活性高、环境适应性强、功能多样等优点,用途广泛。驱动方式和制造工艺是......
表面形貌结构作为材料表面的物理特征之一,具有模拟细胞外基质的仿生特性以及对细胞行为有重要的诱导作用,已被广泛用于细胞行为的......
近年来,随着各种功能性材料的开发利用,微纳制造在诸如柔性电子、光学器件、微流控器件等众多领域显得尤为重要。目前几种主流的微......
基于激光诱导荧光检测技术的微流控系统广泛应用于生物化学检测领域。针对微流控系统中检测样本较少,诱导荧光强度较弱的问题,设计......
微全分析系统是分析仪器发展的重要方向与前沿。它将试验样品的制备、生化反应和结果检测三个步骤集成在单一器件上,能执行特定的......
以紫外光光刻、硅蚀刻及软光刻技术制备了微柱阵列型细胞培养基底。实验发现,在4μm的结构高度下,当微柱特征尺寸大于或等于4μm时......
介绍以软光刻(soft-lithography)为主要手段的微加工技术制备应用于等电聚焦及高效液相色谱的PH值梯度微流芯片.此种PH梯度芯片具......
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设计并试制了由软光刻法转印,可敷设在印刷电路板上用于芯片间互连的光学互连线路。提出了一种新颖的端口耦合结构,并发现在耦合适......
设计并试制了一种新型垂直耦合光互连线路结构,可用于高速计算机内部等垂直堆叠的多层连通光互连的芯片间光信息通讯。其结构简单,......

