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衬底表面相关论文

面向电沉积薄膜的衬底表面质量评价研究

薄膜材料独特的光学、力学、电磁学特性,使其在工程领域内被广泛应用。电沉积法作为一种制备薄膜的常用方法,需要高质量的表面作为......

学位

表面质量衬底熵值法权重表征

薄膜太阳电池系列讲座(12)硅基薄膜太阳电池(四)

图16为以等离子体内SiH3为生长前驱物模式的硅薄膜沉积示意图.rn此模型中假设在SiH3离子落向衬底之前,表面将被H覆盖.首先SiH4在等......

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