随着半导体等现代行业的快速发展,四氟化碳由于其稳定的化学性质而被广泛应用,由于能够强烈的吸收红外辐射和极高的稳定性,使得四......

近年来,随着等离子体科学研究地不断深入,使得等离子体技术被广泛应用于能源、材料、环境、宇宙等诸多专业领域。特别是在材料表面......

等离子体作为一种物质形态在宇宙空间中普遍存在,是与物质的气态、液态和固态并存的第四态,也被称为等离子体态。等离子体在整体上......

随着人类对等离子体认识的深入,等离子体技术现在广泛被应用于能源、物质与材料、环境与宇宙三大领域。特别是在航空航天领域,传统......

由单极驱动的表面波等离子体(Surface-wave-sustained plasma,SWP)是近年发展起来的一种低气压、高密度等离子体,这种技术非常适用......

介绍一种矩形反应腔体结构的表面波等离子体源,通过对垫层介质及天线结构的优化设计,产生了大面积均匀的等离子体.采用静电探针测......