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掩模衍射频谱轴向分量对光刻成像性能的影响

传统三维光刻矢量成像模型中将投影系统物方电磁场表示为二维形式，实现方式分为两种：采用局部坐标和忽略掩模衍射频谱的轴向分量。后......

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成像系统物理光学浸没式光刻矢量成像模型衍射频谱 imaging systems physical optics immersion lithograph

介质平面波导TE0模衍射场的光束参量

对于傍轴光束 ,提出了介质平面波导衍射场的近场模场半宽度、远场发散角半宽度和光束传输因子M2 等光束参量之间满足简单的关系式 ......

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导波光学介质平面波导衍射频谱模场半宽度远场发散角半宽度光束传输因子

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