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纯钽相关论文

纳米层片结构纯钽及其热稳定性研究

本文利用等径角变形（ECAP）和液氮温度下轧制（LNR）的复合工艺对纯钽进行塑性变形,制备了具有纳米层片结构的块体纯钽。通过电子背散射衍......

学位

纯钽纳米层片结构等径角变形液氮轧制力学性能再结晶织构

磁控溅射镀膜用纯钽靶材微观组织控制及其应用

本文研究了冷变形与热处理工艺对纯钽(Ta)磁控溅射靶材的晶粒与织构的影响,纯钽靶材主要用于先进半导体技术中铜互连线与硅基底的......

学位

纯钽锻造轧制晶粒度织构

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