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不同Si3N4相涂层坩埚中全熔多晶硅锭的制备及表征
以α-Si3N4和β-Si3N4粉为原料,采用免烧结工艺在坩埚内壁上分别制备了α-Si3N4涂层、β-Si3N4涂层以及二者质量比为1∶1的复合涂......
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表面粗糙度
Si3N4涂层
红区长度
晶粒尺寸
surface roughness
Si3N4 coating
length of red zone
gr
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