精密凹坑研磨仪相关硕士博士期刊学术论文

薄膜镀层由于厚度小，难以用通常的磨损方法评估其耐磨性。本文研究了采用精密凹坑研磨仪评价薄膜镀层耐磨性的方法，并对TaN/NbN纳米......