硅化钨相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

硅化钨相关论文

CCD新型遮光层工艺技术研究

针对内线转移CCD金属铝遮光技术存在的漏光问题,对比了不同难熔金属材料的遮光性能,选择漏光率较低的氮化钛金属作为新型遮光层材......

期刊

光层 CCD 氮化钛遮光层刻蚀选择比射频功率硅化钨刻蚀工艺刻蚀速率

化学气相淀积硅化钨体系热力学研究

本文给出了以WF6或WCl6为钨源,以硅烷或氯硅烷为硅源的硅化钨气相淀积体系的热力学研究结果。结合实验,讨论了热力学结果对实验的......

期刊

热力学计算氯硅烷氢气浓度摩尔分数热力学研究淀积物反应物化学气相淀积

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