电子束光刻技术相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

电子束光刻技术相关论文

替代EUV光刻机有戏吗？

...

报纸

光刻机 EUV 电子束光刻技术

GaN高频器件的若干关键技术研究

当今,5G通信技术和市场正迅速发展,业界对更大输出功率、更高频率和更高击穿电压类通信芯片的需求开始在近些年争相迸发。近十年,......

学位

超高频GaN器件电子束光刻技术浮空T型栅高线性度超薄势垒原位钝化应力工程超高频E/D模器件

钛酸钠纳米线的电传输特性研究

利用电子束光刻技术制作了基于钛酸钠纳米线的纳米器件.分别在大气和真空两种环境下测量了该器件的电学特性,发现器件所处的气体环......

期刊

纳米线纳米器件电子束光刻技术光电导

看过本文同时还关注