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热丝CVD法相关论文
基于石材加工的金刚石涂层刀具涂层制备及性能分析
金刚石以硬度高、摩擦系数低、热导率高及耐腐蚀性好等特性,在工业领域得到了广泛的应用。CVD金刚石涂层刀具是一种新型的切削刀具......
学位
热丝CVD法
硬质合金
切削
梯度膜
摩擦磨损
热丝CVD法低温快速沉积碳化硅基硅纳米晶薄膜的研究
全硅叠层太阳能电池是第三代太阳能电池概念中的一种,因与硅工艺兼容而受到普遍关注。其中核心的部分即是带隙可调的硅基介质硅纳......
学位
HWCVD
碳化硅基硅纳米晶
低温沉积
生长速率
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