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随着近年来MEMS-CAD的迅速发展,阳极键合技术作为MEMS领域的基础工艺,其模拟仿真受到了重视.本文分析现有的阳极键合电流模型产生......
用等效电路的方法研究了点阴极情况下的电场辅助阳极连接效应,计算了连接电流、连接孕育期和紧密接触面积.本文结果表明,连接初期......
电场辅助阳极连接技术已成为微电子器件领域最常用的连接方法之一,但目前对这一技术的物理和化学机制还不十分清楚,有关的研究文章也......