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漏磁效应相关论文
考虑漏磁效应的扭转式磁微执行器Pull-in参数研究
磁微执行器具有许多静电微执行器无法比拟的优点:磁微执行器可以提供比静电力更大的力或力矩;磁微执行器的工作电压可以与IC兼容;......
学位
微电子机械系统
漏磁效应
扭转式磁微执行器
静态Pull-in参数
有限元法
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