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单晶硅材料中的位错研究
通过低温压痕和高温热处理实验,研究了硅单晶塑性变形产生的位错滑移特点以及氮杂质与位错的相互作用。实验结果表明,位错的滑移距离......
会议
位错滑移
塑性变形能
滑移距离
硅单晶
阻碍作用
处理实验
过低温
高温热
氮杂质
氮原子
氮元素
压痕
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