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用于半导体工业的高纯度制氮设备
介绍深冷法高纯度制氮设备的流程、主要特征、杂质清除、设计要求,并简介了深度精制,可使氮中杂质含量小于0.01×10-9.......
期刊
空气分离设备
高纯氮设备
特征
杂质清除
深度精制
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