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液态源掺杂相关论文

纳米ZnO薄膜制备及液态源掺杂

用真空蒸发法在玻璃和单晶硅片(100)上制备Zn薄膜,然后对Zn薄膜进行氧化、热处理获得纳米ZnO薄膜.对在硅片上制备的Zn薄膜一次性进......

期刊

真空蒸发纳米ZNO薄膜液态源掺杂氧化氧化锌薄膜纳米半导体薄膜 Vacuum evaporation Nanometer ZnO film Liquid

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