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注入掺杂相关论文
沉积与注入掺杂LSMO膜的金属-绝缘体转变与发射率研究
本文通过直流磁控溅射在Si基体上沉积了La-Sr-Mn-O(LSMO)薄膜,并系统研究了不同条件沉积的LSMO薄膜的成分、结构和金属-绝缘体转变......
学位
注入掺杂
沉积模式
LSMO膜
金属-绝缘体
转变特性
发射率特性
离子注入机失效检测新方法
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生......
期刊
离子注入机
失效
离子注入工艺
均匀性
硅片
注入掺杂
注入参数
直接监测
杂质分布
统计信息
特征尺寸
器件线宽
平均偏差
计量设备
工艺窗口
分布展宽
参数
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