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晶态比相关论文

热丝化学气相沉积制备多晶硅薄膜的研究

多晶硅薄膜在薄膜太阳电池和薄膜晶体管等大面积电子学方面具有明确的应用前景。由于具有高速沉积、气体利用率高和易晶化等特点,......

学位

热丝化学气相沉积多晶硅薄膜晶态比择优取向 Al诱导晶化

氢化硅薄膜介观力学行为及其与微结构内禀关联特性

使用等离子体增强化学气相沉积系统,在射频和直流负偏压的双重激励下制备了本征和掺杂后的氢化硅薄膜.利用拉曼谱对薄膜进行了微结......

期刊

氢化硅薄膜拉曼谱弹性模量晶态比

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