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CF4和NF3的分解反应研究

CF4、NF3等全氟化合物（Perfluoro compounds）被广泛用作半导体工业的蚀刻气和清洗气,具有极高的温室效应潜值（GWP）,如CF4的GWP为CO2的6......

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NF3和SF6在一些金属氧化物上的分解反应

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NF3分解 SF6分解脱氟剂改性 MgO Al2O3 NaF-Si-MO 三元混合物

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