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掺溴梯度薄膜相关论文

掺溴非晶碳梯度薄膜的制备与分析

采用低压等离子增强化学气相沉积法用溴乙烷、氢气制备了掺溴的非晶碳梯度薄膜。通过样品的XPS能谱分析研究了薄膜沉积速率与氢气......

期刊

低压等离子体化学气相沉积掺溴梯度薄膜 XPS能谱非晶碳 Low-pressure plasma Chemical vapor deposition G

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