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总厚度变化相关论文
硅片弯曲度的产生和排除
一、引言 所谓硅片弯曲度,就是硅片处于无夹持状态下,相对于一个理想平面单纯凹和凸的体形变。或者说把硅片放置于一平台上,并以......
期刊
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磨刀会
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上海硅材料厂依靠技术创新发展Φ150mm腐蚀硅片
瞄准国际水平 ,积极开展技术创新是上海硅材料厂发展半导体硅材料的思路和原则。去年 ,上海硅材料厂将近年自行开发成功的硅片背面......
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