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高迁移率非晶铟镓锌氧化物薄膜晶体管的制备与特性研究
薄膜晶体管(Thin Film Transistor, TFT)是由电极层、半导体层和绝缘层组成的场效应器件。它是组成液晶显示器(Liquid Crystal Dis......
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薄膜晶体管
铟镓锌氧化物
磁控溅射
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