微构造硅相关论文
在SF6气氛中使用飞秒激光对单晶硅表面进行辐照,制造了尖峰状的微结构表面,随后在该表面上通过磁控溅射了一层掺铝氧化锌(AZO)薄膜......
在一定气体氛围内用超短激光脉冲照射硅表面,可在硅表面产生准规则排列的微米量级尖峰结构,形成具有强吸收的表面微构造硅。研究表......
飞秒激光在一定气体环境下照射硅片可在硅表面激光辐照区产生微米量级的尖峰结构。经过表面微构造后的硅材料光吸收比有了大幅度提......

