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微悬臂梁是MEMS器件中最基本也是最典型的微结构,常用于微传感器。微悬臂梁具有灵敏度高、体积小、成本低等优点,在微小粒子及细胞......
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矩形微通道式微悬臂梁传感器可用于检测单个微粒子或细胞的质量,在生物和化学等领域具有非常广泛的应用前景。设计了一种含有矩形......

