平面光栅相关论文
超精密位移测量系统是光刻机不可或缺的关键分系统之一，而基于激光外差干涉技术的超精密位移测量系统同时具备亚纳米级分辨率、纳米......
介绍了一种掠入射式多包含角平面光栅单色器的设计原理，从理论上对其可行性进行了分析和验证。该单色器系统对SX-700型单色器进行了......
本文介绍了长春光学精密机械研究所研制成功的四台衍射光栅刻划机。该机自1958年开始设计。1号、2号光栅刻划机为机械型,分别于195......
合肥国家同步辐射实验室（ＮＳＲＬ）在表面物理光束线中应用了新的简单平面光栅单色仪作为分光仪器。它采用平面光栅和球面镜组成光学成像系统......
针对浸没式光刻机高精度的测量需求,采用平面光栅为测量标尺,分析推导了一种位移测量模型.通过建立光栅与四个读头之间的相对位移......
光栅微结构尺寸在微米亚微米量级、口径达到上百毫米甚至米级的大尺寸平面光栅,在新一代光刻机等超精密加工测试装备、惯性约束核......
对机床作圆检验常用的仪器是球杆仪,它具有测量精度高,安装方便,测量时间短,不需额外加工测试件等优点,但也存在不能进行小半径测......
