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射频-微电子机械系统开关相关论文

温度对悬臂梁静电驱动RF-MEMS开关性能的影响

介绍了温度对悬臂梁式RF-MEMS开关的影响。以南京电子器件研究所研制的悬臂梁式RF-MEMS开关为实验样品，常温下（25℃）先测定样品的驱动......

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射频-微电子机械系统开关温度悬臂梁驱动电压 RF-MEMS switches temperature cantilever actuation volta

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