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宽入射角范围相关论文

深紫外宽入射角范围增透膜设计与制备

在大数值孔径深紫外光学系统中,需要使用宽入射角范围的增透膜光学元件。选择LaF3和MgF2两种镀膜材料,设计了适用于深紫外宽入射角......

期刊

深紫外增透膜宽入射角范围剩余反射率 deep ultraviolet antireflection coatings wide angle of in

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