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立式氧化炉中气流场的仿真设计与分析
为解决立式氧化炉气流场存在的技术难点,提高晶圆氧化膜的厚度均匀性;采用流体力学仿真方法,建立炉体工艺管气流场数学和仿真模型,......
期刊
立式氧化炉
仿真模型
气流场
多孔挡板
核主泵入流畸变特性及其控制方法研究
核能作为未来应对全球性的能源紧缺极具潜力的清洁能源发展迅速,核主泵是维持核岛内系统正常运行的关键设备。基于AP1000的非能动......
学位
核主泵
混流泵
非均匀入流
入流畸变
多孔挡板
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