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埋氧层内应力相关论文
埋氧层内应力对微悬臂梁加工断裂的影响机理研究
研究了在Smart-cut方法下制作的SOI硅片中热应力产生的来源,以及热应力的分布、数值和范围。对微悬臂梁制作过程的几个阶段进行了......
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