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本文报道了一种工艺简单可靠、利用钨丝掩膜质子轰击(见Semicond.Sei.Technol.,1996,11∶1734~1736)方法制成的室温准连续运转可见光垂直腔面发射激光器。激射波长为660nm。外延片......
TiNi形状记忆薄膜光刻工艺是此类MEMS器件制作的关键技术之一。研究了剥离工艺(lift|off)用于TiNi薄膜图形化的可行性,并首次利用溅......
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三维光存储是数据存储领域一个重要的研究方向,本文研究了一种基于波导多层存储原理的波导多层光卡的相关理论和技术问题。通过对......

