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石英坩埚中碱金属含量对硅单晶拉制的影响
纯化石英坩埚所用高纯石英砂,改变其中Na、K元素的含量,研究了石英坩埚中Na、K元素含量的不同对硅单晶拉制的影响。结果表明,降低N......
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石英坩埚
硅单晶
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