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可凝结物是电子洁净室内一种常见的气态污染物,它不仅会腐蚀洁净室的产品和设备,还会降低工艺的精度,造成巨大的经济损失。目前洁......
基于理论推导和相关实验,给出了平板型和W型褶型碳布式化学过滤器的阻力预测公式。研究显示:克重为600~1 000 g/m~2的夹碳布的阻力为2......
阐述ITRS和IRDS的要求,洁净室空气净化系统对粒子浓度、气态污染物的管控均有严格要求.洁净室的主流净化技术包括风机过滤单元、高......
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以我国某新建的半导体晶圆厂洁净室气态化学污染物测试结果为例,利用长期在线检测和现场实测相结合的方法,完成了从建造到洁净室空......
21世纪,我国国家半导体制造整体实力突飞猛进,随着半导体工艺不断的进步,线宽从1um提升到90nm以下,再到大规模量产的28nm和14nm工......

