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GaN由于其优越的物理性质和在高温高频大功率电子器件中的应用潜力,近年来一直得到了许多研究者的青睐。尤其是当p-GaN材料生长的......
在常规的等离子体刻蚀的基础之上,一种基于循环方式的逐层刻蚀方法得到了进一步改善方案,其目的就是把经过曝光、显影后光刻胶微图......
