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制程控制相关论文

薄膜的光谱椭圆偏光计量从容面对45nm及以下节点

在65和45nm节点,随着新材料和新结构的出现,对薄膜计量的要求变得越来越复杂,可是计量预算更紧张。仅仅在关键制程中监测厚度和折......

期刊

光学薄膜光谱椭圆偏光法光计量系统性变化制程控制新材料组分栅氧化层应用数据解决方案监测光学性质复杂结构折射率栅介质新结构孔隙率

质量控制技术在IC制程控制中的运用

IC芯片应用广泛,产业发展迅速,而且随着芯片的集成度和性能的不断提高,以及大量新材料、新工艺和新的器件结构的运用,产品的可靠性......

期刊

质量控制技术 IC芯片制程控制上海市质量协会质量控制系统产品质量产业发展质量保证

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